超純水儀是采用預處理、反滲透技術、超純化處理以及后級處理等方法，將水中的導電介質幾乎*去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水處理設備。

　　設備的使用不可能永遠不出故障，超純水儀也不例外。故障有大小之分，大故障自己處理不了的，只能有由廠家來進行或者指導，小故障自己就可以直接處理了。
　　1. 超純水儀的泵不啟動，無法造水：
　　首先觀察面板的系統報警指示燈是否閃爍并伴有蜂鳴聲，則故障原因可能為：源水壓力不足，而產生低壓開關斷電；檢查PP濾芯或活性碳濾芯是否阻塞；低壓開關是否正常。
　　2. 泵正常運轉但無法造水：
　　RO膜阻塞或泵失壓，系前者請更換RO膜；若系后者，則為長期重載或濾芯阻塞而致泵構造老化，請更換濾芯并送修泵；進水電磁閥故障無法進水，請更換之。
　　3. 面板造水指示燈亮而無法造水：
　　首先檢查泵是否有24VDC輸出到泵，若有，而泵未動作；則說明泵壞或者被堵塞；若無，則應檢查線路是否正常。
　　4. 在沖洗情況下，泵時動時停：
　　原水壓力不足或PP濾芯阻塞所致；請更換初濾芯。
　　5. 超純水儀停機狀況下，排放水流不停：
　　進水電磁閥無法閉鎖，請拆開檢查是否有雜物卡住，或已故障，請更換之。
　　6.泵頭漏水：
　　PP濾芯或活性碳濾芯阻塞，需勤于清洗、及時更換PP濾芯；泵頭膠墊老化或水垢阻塞；廢水比阻塞導致抽運之水無法送出而漏水。
　　7.蜂鳴器發出報警聲：
　　首先應檢查液位是否處于低液位或以下；檢查面板系統報警指示燈是否閃爍，若有，可能為源水壓力不足或進水總閥被關閉，而產生低壓開關斷電；檢查PP濾芯或活性碳濾芯是否阻塞；低壓開關是否正常；若無，請檢查機箱內UV燈的變壓器指示燈是否亮紅燈，亮紅燈則說明UV燈管已壞，需更換之，請及時與廠家。
　　8.開機系統電源指示燈不亮，且不工作
　　先檢查電源插座是否有電，其次檢查保險管是否正常，或者是電源開關失靈。
　　9.純水備用狀態而無法取出水
　　檢查循環泵是否動作，或者取水電磁閥已關閉，或者取水軟管斷開和堵塞，或取水鍵失靈。
　　10.超純水儀在超純水取用時電阻儀顯示頻繁變化且波動較大
　　則可能是電阻儀探頭被污染或損壞，請及時用超純水清洗或者更換電阻儀。